В соответствии с пунктом 16 Правил разработки и утверждения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением Правительства Российской Федерации от 22 января 2013 г. N 23 (Собрание законодательства Российской Федерации, 2013, N 4, ст. 293; 2014, N 39, ст. 5266), приказываю:
1. Утвердить прилагаемый профессиональный стандарт "Специалист по технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем".
2. Признать утратившим силу приказ Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от 3 февраля 2014 г. N 71н "Об утверждении профессионального стандарта "Инженер-технолог в области производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем" (зарегистрирован Министерством юстиции Российской Федерации 20 марта 2014 г., регистрационный N 31668).
3. Установить, что настоящий приказ вступает в силу с 1 сентября 2022 г. и действует до 1 сентября 2028 г.
3.1. Обобщенная трудовая функция
|
Наименование
|
Контроль и обеспечение соответствия оснащения и процедур использования рабочих мест требованиям маршрутных и операционных технологических карт при производстве наноразмерных интегральных схем
|
Код
|
А
|
Уровень квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение обобщенной трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
Возможные наименования должностей, профессий
|
Инженер-технолог
Линейный инженер-технолог
Технолог производства наноразмерных интегральных схем
Специалист по производству наноразмерных интегральных схем
|
|
|
|
|
Требования к образованию и обучению
|
Высшее образование - бакалавриат
|
|
Требования к опыту практической работы
|
-
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований), а также внеочередных медицинских осмотров (обследований) в порядке, установленном законодательством Российской Федерации*(3)
Прохождение обучения по охране труда*(4)
|
|
Другие характеристики
|
Дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже, чем один раз в пять лет
|
|
Дополнительные характеристики:
|
|
Наименование документа
|
Код
|
Наименование базовой группы, должности
(профессии) или специальности
|
|
ОКЗ
|
2141
|
Инженеры в промышленности и на производстве
|
|
ЕКС*(5)
|
-
|
Инженер-технолог (технолог)
|
|
ОКПДТР*(6)
|
22854
|
Инженер-технолог
|
|
ОКСО*(7)
|
2.11.03.03
|
Конструирование и технология электронных средств
|
|
2.11.03.04
|
Электроника и наноэлектроника
|
|
3.1.1. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Контроль подготовки и оснащения рабочих мест оборудованием для технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
А/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Проверка технического оснащения рабочих мест на производстве наноразмерных приборов и интегральных схем на соответствие нормам технической документации
|
|
Разработка технических требований к оснащению и дооснащению рабочих мест расходными материалами, инструментом и оснасткой для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Формирование технического задания для оснащения и дооснащения рабочих мест расходными материалами, инструментом и оснасткой для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Определять соответствие технической оснащённости рабочих мест требованиям технической документации для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Устранять несоответствия в технической оснащённости рабочих мест на производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Определять потребность в технологическом, контрольно-измерительном и вспомогательном оборудовании на рабочих местах для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Определять требования к оснащению и дооснащению рабочих мест для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Методика организации технологических процессов и подготовки рабочих мест на производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Устройство и принцип работы технологического, контрольно-измерительного и вспомогательного оборудования производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Основы организации и планирования производства наноразмерных интегральных схем в части оснащения рабочих мест
|
|
Опасные и вредные факторы при выполнении работ при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Правила производственной санитарии при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Виды и правила применения средств индивидуальной и коллективной защиты при выполнении работ при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Требования охраны труда, пожарной, промышленной, экологической и электробезопасности при производстве интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные требования к чистым помещениям для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.1.2. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Контроль за соблюдением технологической дисциплины (технологических процессов) в цехах и правильной эксплуатацией технологического оборудования в производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
A/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
Х
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Контроль соблюдения правил эксплуатации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль соблюдения правил эксплуатации технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль соблюдения типовых маршрутов при реализации технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выявление причин брака в производстве наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Расчёт статистических показателей пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных приборов и интегральных микросхем
|
|
Предложение решений по изменению технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем с целью обеспечения воспроизводимости, предупреждению и ликвидации брака
|
|
Согласование изменений, внесённых в технологическую документацию, с работниками на участках производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Контроль соблюдения правил и требований электровакуумной гигиены при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль соблюдения правил работы с продукцией при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Оперативно решать технологические проблемы в процессе производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Заполнять и оформлять карты сбора информации и контрольные карты при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выявлять причины выхода за контрольные границы параметров технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить межоперационный контроль параметров интегральных структур изделий на каждом технологическом этапе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Использовать контрольно-измерительное оборудование для контроля работоспособности оборудования при для проведения процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Измерять параметры формируемых слоёв и конструктивных элементов при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Использовать стандартные компьютерные программы для обработки статистических данных производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Использовать утвержденную процедуру внесения изменений в технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать технологический процесс производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами (в соответствии с зоной ответственности), включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
Анализировать лог-файлы оборудования для определения точных расходов материалов, затрачиваемых на пластину в процессе обработки или на продувку/прокачку линий
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные параметрические зависимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Правила эксплуатации технологического оборудования в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Правила эксплуатации технологической оснастки для производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Виды дефектов при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
Технологические факторы, вызывающие погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
Методы уменьшения влияния технологических факторов, вызывающих погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Порядок внесения изменений в технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке, чтению и внесению изменений в технологическую документацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Процедуры согласования предложений по изменению технологической документации производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Правила эксплуатации контрольно-измерительного оборудования при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Методики контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.1.3. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Аттестация технологического и измерительного оборудования и выполнение необходимых действий при отклонении аппаратных характеристик от допустимых значений при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
A/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
Х
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Контроль за подготовкой и проведением плановой аттестации и решение о проведении внеплановой аттестации оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль привнесённой дефектности с использованием лазерных анализаторов поверхности и определения ионных загрязнений с использованием рентгенофлюоресцентного анализа для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль за внесением полученных результатов аттестационных процессов в карты статистического управления с применением системы автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка рекомендаций при отклонении результатов аттестаций от контрольных границ значений параметров для технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль за подготовкой пластин в соответствии с технологической инструкцией для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль за проведением реставрации вспомогательных пластин на технологическом оборудовании при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
|
Взаимодействие с инженерами по обслуживанию оборудования с целью выявления причин брака и разработки плана мероприятий по их устранению
|
|
Разработка методик аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Проводить сортировку пластин при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выбирать тесты в соответствии с планом-графиком аттестации вверенного технологического оборудования и указаниями системы автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Запускать маршрут аттестации технологического оборудования в системе автоматизированного управления производством интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Отбирать необходимые пластины для аттестации технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить тестовые измерения параметров структур и слоёв на пластинах для аттестаций технологического оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать на технологическом оборудовании производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные параметрические зависимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Правила поведения и работы в чистом производственном помещении для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
План контроля единицы оборудования, находящейся в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типы вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные), используемые в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Операционные карты универсальные на технологическое и измерительное оборудование, рабочие технологические инструкции производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные параметрические зависимости технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Характеристики сред, влияющих на достижение значений параметров процесса внутри контрольных границ, при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Опасные и вредные свойства используемых агрессивных сред для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Правила обращения с опасными и агрессивными технологическими средами в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Планы действий при отклонении параметров процессов в зоне ответственности специалиста при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Методики контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Критерии годности повторного использования реставрационных пластин
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
3.2. Обобщенная трудовая функция
|
3.2.1. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Разработка микромаршрутов и сопровождение типового маршрута изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
B/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Контроль параметров структур и слоёв интегральных схем после проведения технологических операций
|
|
Отслеживание соблюдения операторами правила выбора рабочих партий для проведения технологических операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Определение операций, приведшим к отклонению параметров готового изделия, браку или уменьшению выхода годных изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоёв и изделий
|
|
Контролировать временной график прохождения партий пластин по технологическому маршруту в циклах производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с программным обеспечением для анализа результатов измерений параметров процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать на технологическом оборудование по своему профилю при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Технологический регламент обработки партий рабочих пластин при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты, стандарты организации по технике безопасности, вакуумной гигиене и чистым зонам для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты контроля партий рабочих пластин, проходящих по маршруту изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Требования операционных, маршрутных и контрольных карт производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Правила эксплуатации контрольно-измерительного оборудования производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
Правила и нормы разработки технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем согласно требованиям спецификации
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Методики контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.2.2. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Контроль результатов проведения технологических операций производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
B/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Управление технологическими параметрами операций производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль деятельности операторов и соблюдения ими правил проведения технологических и контрольных операций, транспортировки партий изделий при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Определение и устранение причин отклонения параметров технологических операций от заданных при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка предложений по корректировке планов действий при отклонениях, возникающих при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выполнение тестов аттестации технологического оборудования, находящегося в зоне ответственности при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка предложений о внедрении мер по оптимизации, улучшению работы и снижению эксплуатационных затрат технологического оборудования на основе анализа процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Взаимодействие с сотрудниками технологического отдела и отдела по обслуживанию технологического оборудования по вопросам обработки рабочих партий интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, выполнения экспериментов, разработки новых рецептов технологических процессов, выяснения причин сбоя при проведении технологической операции или работе оборудования
|
|
Исследование возможных отклонений от установленных требований в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами и формирование письменных отчётов о выявленных ошибках
|
|
Подготовка предложений о краткосрочных и долгосрочных корректирующих действиях при выявлении расхождений в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Осуществление технологического надзора по выполнению требований документации при проведении операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоёв и изделий
|
|
Проводить анализ и определять причины отклонения параметров технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с документацией для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием, используемым в наноэлектронике
|
|
Работать в качестве оператора на технологическом оборудовании, находящимся в зоне ответственности при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать технологический процесс в зоне ответственности, включая необходимые условия его проведения, влияние технологических параметров на качество проведения процесса
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Технологические режимы работы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты и стандарты организации по технике безопасности, вакуумной гигиене и чистым производственным помещениям для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты контроля партий рабочих пластин после проведения технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программное обеспечение для анализа результатов измерений параметров при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Требования операционных, маршрутных и контрольных карт на изделие для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типовые причины появления несоответствий при обработке продукции на оборудовании в зоне ответственности для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Правила эксплуатации контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Основы технологии производства интегральных микросхем (транзисторный цикл, цикл формирования спейсеров, цикл металлизации)
|
|
Правила и нормы разработки технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем согласно требованиям спецификации
|
|
Способы управления основными параметрами процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Методики контроля параметров процесса изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.3.2. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Подготовка операторов, участвующих в проведении технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, к аттестации на повышение разряда
|
Код
|
С/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Определение порядка и вида аттестационного процесса на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка программ повышения квалификации операторов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Планирование и организация проведения теоретических и практических занятий по обучению операторов на повышение разряда, контроль качества знаний, полученных операторами, для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Обучение операторов работе на новом технологическом оборудовании, выполнению нестандартных технологических операций при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Обучение операторов проведению аттестационных процессов на технологическом оборудовании
|
|
Обучение операторов соблюдению требований техники безопасности, охраны труда и экологической безопасности при проведении аттестационных процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверка знаний операторами правил электровакуумной гигиены в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оценка правильности действий операторов при выполнении аттестационных процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Показывать выполнение аттестационных процессов, приёмов использования измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Формулировать задачи при подготовке операторов к аттестации на повышение разряда для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать помощь операторам в изучении технологических схем и документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверять уровень безопасности выполнения работ при аттестации технологических процессов на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Принимать решения о прекращении аттестационных работ при возникновении условий, представляющих непосредственную угрозу жизни и здоровью работников, во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить работы по аттестации оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами с соблюдением норм техники безопасности, предписанными для данных работ
|
|
Работать на технологическом оборудовании и измерительном оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверять знания операторами требований электровакуумной гигиены в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Определять порядок и вид необходимой аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с программными средствами статистического контроля аттестационных процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке, чтению и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Правила безопасного выполнения работ и технологических операций на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.3.3. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Сбор и статистическая обработка значений производственных параметров для подготовки технических заключений о причинах появления брака при проведении технологического процесса изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
Код
|
С/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Проверка условий прохождения партии с отклонением при обработке на вверенном технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверка измеренных параметров после обработки партии с отклонением во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Сбор информации об условиях прохождения партии через установку сортировки пластин во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Подготовка информации по аттестации технологического оборудования, попадающего под подозрение, для выявления возможности возникновения отклонения при обработке продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Проводить анализ условий прохождения партий при обработке на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проверять условия измерения параметров рабочих пластин после проведения технологической операции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Возможности оборудования по анализу ошибок, регистрируемых программным обеспечением технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Требования по заполнению сопроводительных листов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Установленные нормы на параметры изделия в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
|
|
|
3.4.1. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Проведение работ по устранению и предупреждению причин брака при изготовлении наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
D/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Составление и контроль выполнения плана-графика аттестации технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка форм карт сбора информации по измерительным операциям в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проведение статистического анализа параметров технологических операций для определения эффективности и управляемости процессов изготовления продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Определения причин возникновения брака на рабочих партиях, сбор информации для дальнейшего анализа причин возникновения брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Обобщение собранной информации для подготовки технического заключения, выполнение плана временных сдерживающих действий для предупреждения причин брака интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выявление и устранение причин брака при проведении технологической операции от заданных в документации параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Внесение изменений в технологическую документацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Согласование предложений по изменению технологических процессов производства наноразмерных интегральных микросхем
|
|
Разработка решений по обеспечению и/или повышению воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Формулирование предложений по предупреждению возможных рисков, связанных с использованием новых материалов, оборудования, процессов при подготовке отчёта по анализу видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Анализировать пригодность и воспроизводимость технологических процессов производства изделий наноразмерных интегральных схем
|
|
Использовать стандартные программы для обработки статистических данных процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать основные параметры реализуемых технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оперативно определять пути решения технологических проблем, возникающих в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Анализировать предложения по изменениям в технологических процессах, предупреждению и ликвидации брака в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Планировать процессы организации, сбора и обобщения статистических данных для оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Параметры и режимы технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
Правила эксплуатации технологического оборудования и оснастки для производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Виды дефектов при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
Технологические факторы, вызывающие погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
Методы уменьшения влияния технологических факторов, вызывающих погрешности изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
Методы анализа технического уровня объектов техники и технологии
|
|
Методы оценки пригодности и воспроизводимости технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Программы статистического анализа процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Процедуры согласования предложений по изменению технологических процессов, находящихся в зоне ответственности, в производстве интегральных схем с наноарзмерными проектными нормами
|
|
Процедуры согласования предложений по изменению технологической документации, касающейся технологических процессов в зоне ответственности, в производстве интегральнызх схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.4.2. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Разработка новых технологических процессов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
D/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Разработка технологического процесса для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в соответствии с техническим заданием
|
|
Оценка возможностей технологического оборудования для реализации нового технологического процесса для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка технических заданий на модернизацию и нестандартную технологическую оснастку, оборудование, средства автоматизации процессов производства для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка технических заданий на обвязку (подключение к инженерным системам) нового оборудования, контроль за его размещением, монтажом и обвязкой для производства интегральных схем с наноразмернымим проектными нормами
|
|
Создание программы обработки нового технологического процесса на оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализ рисков при разработке нового технологического процесса производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами и оценка влияния на последующие операции
|
|
Отработка нового технологического процесса на вспомогательных пластинах для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Отработка микромаршрута с новым технологическим процессом для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль данных, полученных при прохождении пластин по микромаршруту, и корректировка процесса (при необходимости) для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Открытие разрешения на временное отклонение с использованием нового технологического процесса для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль обработки партий в соответствии с разрешением на временное отклонение, и принятие решения о дальнейших действиях с новым процессом для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Открытие технологической пробы с использованием разработанного технологического процесса (при положительных результатах его предварительного использования) для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка спецификации на технологический процесс для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, определение контрольно-измерительных параметров и контрольных границ для статистического контроля процесса
|
|
Разработка плана работ по предупреждению рисков при разработке нового технологического процесса и оценка влияния на последующие операции
|
|
Необходимые умения
|
Выявлять основные технологические задачи, решаемые при разработке единичного технологического процесса производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Анализировать возможности использования имеющегося технологического оборудования для реализации новых процессов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выбирать технические режимы операций единичного технологического процесса производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Анализировать риски при разработке нового технологического процесса и оценивать влияние на последующие операции
|
|
Анализировать возможности средств контроля технических характеристик наноразмерных интегральных схем
|
|
Работать на технологическом и измерительном оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с программами статистического контроля процессов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выполнять аттестацию технологических процессов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типовые технологические процессы производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Стандарты и локальные нормативные акты по оформлению технологической документации в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Методика выбора технологических режимов проведения технологических операций в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Методы разработки технологических процессов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными норами
|
|
Оборудование для реализации требований технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Средства контроля технологических операций, применяемые в технологическом процессе производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Физико-химические основы технологических операций при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Характеристики оборудования для реализации требований технологических процессов при изготовлении наноразмерных интегральных схем
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.4.3. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест для проведения технологических процессов производства интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
D/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Разработка технических заданий на подключение технологического оборудования к газовым и химическим магистралям, вытяжкам, системе сливов, вакуумным линиям, электричеству (составление матрицы потребления энергоносителей) для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка технических заданий на обвязку (подключение к инженерным системам) нового оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, контроль за его размещением, монтажом и обвязкой
|
|
Разработка планировок размещения оборудования и рабочих мест в чистом производственном помещении для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Контроль за проведением механических тестов проверки подключенного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка планировок размещения вспомогательного технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка логистических схем движения продукции для корректного размещения технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Читать чертежи и схемы технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Анализировать различные схемы расстановки и компоновки технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выбирать модели расстановки оборудования с учётом логистики пластин в производственном цикле
|
|
Анализировать различные схемы расстановки метрологического оборудования для общего пользования
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Оценивать габариты размещаемого технологического оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами в зоне размещения
|
|
Анализировать техническое задание на разработку планировочных решений для размещения оборудования, используемого в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типовые маршруты производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Методика расчета потребления энергоносителей для каждой размещаемой единицы оборудования
|
|
Методы определения необходимого качества энергоносителей, подаваемых на подключаемое оборудование
|
|
Оборудование для реализации требований технологических процессов производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Требования к вибрации пола, чистоте процессных и сервисных газов, жидких химических реактивов, деионизованной и охлаждающей воде
|
|
Требования к вспомогательному оборудованию для обеспечения работоспособности технологической установки (насосы, чиллеры, теплообменники, газовые и химические кабинеты)
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.5. Обобщенная трудовая функция
|
|
Наименование
|
Интеграция технологических процессов и технологический контроль производства наноразмерных приборов и интегральных схем по всему маршруту изготовления
|
Код
|
E
|
Уровень квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение обобщенной трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
Возможные наименования должностей, профессий
|
Инженер-интегратор процессов производства изделий наноэлектроники
Инженер по продукции
Специалист по интеграции процессов производства изделий наноэлектроники
|
|
|
|
Требования к образованию и обучению
|
Высшее образование - специалитет
или
Высшее образование - магистратура
|
|
Требования к опыту практической работы
|
Не менее одного года на инженерных должностях в области технологии производства наноразмерных интегральных схем
|
|
Особые условия допуска к работе
|
Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований), а также внеочередных медицинских осмотров (обследований) в порядке, установленном законодательством Российской Федерации
Прохождение обучения по охране труда
|
|
Другие характеристики
|
Дополнительное профессиональное образование - программы повышения квалификации, программы профессиональной переподготовки не реже, чем один раз в пять лет
|
|
3.5.1. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Разработка и апробация типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
E/01.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Разработка типовых технологических маршрутов для изготовления наноразмерного прибора или интегральной схемы на основе базовых технологий
|
|
Составление тестовых маршрутов для проверки корректности составления общего технологического маршрута изготовления интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Коррекция и доработка типовых технологических маршрутов изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
Разработка схем контроля технологических параметров в процессе изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
Составление и оформление технологической документации на разработанный маршрут изготовления наноразмерных интегральных схем
|
|
Необходимые умения
|
Изучать данные новых технологических разработок и мировых тенденций в производстве интегральных схем с наноразмерными нормами
|
|
Проводить анализ результатов измерений электрофизических параметров формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоёв и изделий
|
|
Проводить анализ и определять причины отклонения параметров процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с документацией по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Система менеджмента качества конкретной организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Технологические режимы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты, стандарты (по технике безопасности, вакуумной гигиене, чистым зонам) для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Операционные, маршрутные и контрольные карты прозводства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Основные свойства газов, жидкостных химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.5.2. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Подготовка технических заключений по выпуску партий с отклонением при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
E/02.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Разработка технических решений по представленным данным о несоответствии технологического процесса и принятие решения о размещении несоответствующей партии при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка технических решений по результатам анализа несоответствий при контроле вольтамперных характеристик наноразмерных приборов или дефектности на пластинах
|
|
Подготовка рекомендаций по устранению причин отклонения параметров готовых наноразмерных интегральных схем от проектных и внесение изменений в маршрут изготовления (при необходимости)
|
|
Подготовка технического заключения по поступившей рекламации на выпущенное наноразмерное изделие электроники
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоёв и изделий
|
|
Проводить анализ результатов измерений электрофизических параметров формируемых функциональных и вспомогательных наноразмерных слоёв и изделий
|
|
Проводить анализ и определять причины отклонения параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с документацией для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием, используемым в наноэлектронике
|
|
Разрабатывать микромаршруты для проверки гипотез при выявлении причин возникновения отклонений параметров от границы спецификаций на изделие в партии при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Система менеджмента качества конкретной организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Технологические режимы оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты, стандарта (по технике безопасности, вакуумной гигиене, чистым зонам) для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Операционные, маршрутные и контрольные карты для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Основные свойства газов, жидкостных химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.5.3. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Решение стандартных технологических проблем, связанных с прохождением изделия по всему маршруту при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
E/03.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
X
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Определение соответствия партии готовых интегральных схем с наноразмерными проектными нормами границам спецификации на изделие по результатам финишного контроля вольтамперных характеристик
|
|
Разработка схем проведения дополнительных замеров параметров при отклонении от норм какого-либо параметра во время производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Выявление узлов, где возникли технологические проблемы, повлиявшие на параметры изделия в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами, по результатам анализа маршрута изготовления кристалла
|
|
Контроль параметров, способных влиять на работоспособность выпускаемых приборов, разработка плана действий в случае выхода показателей за границы спецификации на изделие при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Проводить анализ результатов финишного контроля вольтамперных характеристик и принимать решения по партии изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Организовывать проведение дополнительных замеров параметров при отклонении от норм технологического параметра в процессе производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оптимизировать параметры технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить работы по сопровождению прохождения по маршруту партий интегральных схем с наноразмерными проектными нормами с соблюдением предписанных для данного вида работ норм безопасности
|
|
Планировать и проводить технологические эксперименты в рамках производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Осуществлять технологический надзор производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разрабатывать маршрутные карты (Технологические маршруты) производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Измерять электрофизические параметры технологических слоёв интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать на оборудовании контроля дефектности со сформированным рисунком, выполняя метрологические действия по контролю дефектности при производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Операционные карты универсальные на измерительное оборудование для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интгеральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основы цифровой и аналоговой схемотехники наноразмерных ультрабольших интегральных схем
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Основные свойства газов, жидкостных химических реактивов, фоторезистивных материалов, используемых в производстве наноразмерных интегральных схем
|
|
Основы дизайна изделий и тестовых структур, принцип работы изделий наноэлектроники и их характеристики
|
|
Английский язык не ниже первого среднего уровня владения языком
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.5.4. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Контроль маршрута прохождения партии изделий в производстве наноразмерного прибора или интегральной схемы
|
Код
|
E/04.6
|
Уровень (подуровень) квалификации
|
6
|
|
3.6.1. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Выбор перспективных технологических процессов и оборудования по направлению деятельности для производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
F/01.7
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
Х
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Разработка единичных технологических процессов, освоение и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка маршрутных технологических процессов, освоение и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка групповых технологических процессов и внедрение их в производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оптимизация параметров технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Освоение и внедрение технологических процессов и необходимых режимов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на выпускаемую продукцию
|
|
Определение экономической эффективности разрабатываемых технологических процессов производства интегральных схем с наноразмрными проектными нормами
|
|
Разработка маршрутного технологического процесса изготовления наноэлектронных изделий в составе проектной группы
|
|
Исследование видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Подготовка отчёта по результатам анализа видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Измерять электрофизические параметры формируемых наноразмерных слоёв и изделий
|
|
Проводить оптимизацию параметров технологических процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с документацией, подготавливать технологическую документацию для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с контрольно-измерительным оборудованием для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить анализ и определять причины отклонения параметров интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить расчёты режимов технологических операций для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Изучать данные новых технологических разработок и мировых тенденций в производстве интегральных схем с наноразмерными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Английский язык не ниже порогового уровня
|
|
Типы оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Операционные, маршрутные и контрольные карты для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Технологический регламент производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Государственные стандарты по чистым помещениям и связанным с ними контролируемым средам для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты контроля интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Неорганическая и органическая химия, физическая химия
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.6.2. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Составление плана и проведение экспериментальных работ по отработке и внедрению новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства наноразмерных приборов и интегральных схем
|
Код
|
F/02.7
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
Х
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Составление плана проведения экспериментальных работ по отработке новых материалов, процессов оборудования с распределением зон ответственности
|
|
Выбор и внедрение новых материалов, освоение новых технологических процессов, новых видов оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оценка экономической целесообразности внедрения новых материалов, технологических процессов, оборудования и оснастки в существующее производство интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка и экспериментальная проверка технологических процессных блоков (микромаршрутов), объединение их в общий маршрут изготовления наноэлектронного изделия
|
|
Разработка технологической документации для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Подготовка отчётов по результатам проведения экспериментальных работ, включая анализ видов, последствий и критичности отказов интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Необходимые умения
|
Проводить анализ технических и технологических параметров оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами на соответствие их паспортным характеристикам
|
|
Разрабатывать рекомендации по выбору оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать на технологическом оборудовании для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить оптимизацию технологических операций для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разрабатывать рекомендации по устранению причин брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Применять методы сбора данных для изучения научно-технической информации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Работать с научно-технической литературой, анализировать и обобщать научно-техническую информацию по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Рассчитывать экономический эффект от внедрения новых материалов, технологических процессов и оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Измерять электрофизические параметры формируемых слоёв и изделий в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Составлять закупочные спецификации на оборудование для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Английский язык не ниже порогового уровня
|
|
Возможности, характеристики оборудования организации по производству интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типы оборудования и технологической оснастки для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Типы, характеристики оборудования, выпускаемого ведущими компаниями мира, для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Физико-химические основы и ограничения базовых технологических процессов наноэлектроники
|
|
Физика твёрдого тела
|
|
Физика полупроводниковых наноразмерных приборов
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
|
3.6.3. Трудовая функция
|
|
Наименование
|
Решение нестандартных технологических проблем по направлению деятельности при производстве интегральных схем с использованием нанотехнологий
|
Код
|
F/03.7
|
Уровень квалификации
|
7
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции
|
Оригинал
|
Х
|
Заимствовано из оригинала
|
|
|
|
|
|
Код оригинала
|
Регистрационный номер профессионального стандарта
|
|
|
|
Трудовые действия
|
Разработка предложений при необходимости модернизации технологического процесса для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка рекомендаций при необходимости модернизации технологического оборудования и технологической оснастки на выпускаемую продукцию в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Согласование графиков планового технического обслуживания оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разработка плана временных сдерживающих действий, выявление корневых причин брака выпускаемой продукции в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами и разработка плана корректирующих действий
|
|
Необходимые умения
|
Проводить анализ и определять причины отклонения параметров технологического процесса от заданных в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Разрабатывать рекомендации по устранению причин сбоя оборудования для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Рассчитывать потребление материалов для обеспечения технологического участка необходимыми материалами и реагентами для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Заполнять соответствующие формы документов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Проводить анализ и определять причины брака в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
|
|
Необходимые знания
|
Культура производства и вакуумная гигиена в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Программы статистического анализа процессов производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Параметры оборудования, используемого в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Параметры операционных карт на процессы, маршрутных карт на изделия наноэлектроники
|
|
Установленные нормы на параметры изделия в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Нормы расходования материалов для производства интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Требования к материально-техническому обеспечению рабочего места в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Регламенты, требования, государственные стандарты на выпускаемую продукцию в производстве интегральных схем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Основные положения государственных стандартов по разработке и внесению изменений в технологическую документацию
|
|
Устройство и принцип работы технологического и контрольно-измерительного оборудования для производства интегральных микросхем с наноразмерными проектными нормами
|
|
Конструкция полупроводниковых приборов и физика их работы
|
|
Основы схемотехники интегральных схем
|
|
Физико-химические и технологические основы производственных процессов и параметров микро и наноэлектроники
|
|
Основы конструкции и принципы работы оборудования для реализации базовых процессов микроэлектроники
|
|
Основы метрологии и принципы работы измерительного оборудования, используемого в микроэлектронике
|
|
Английский язык не ниже порогового уровня
|
|
Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве
|
|
Другие характеристики
|
-
|
*(1) Общероссийский классификатор занятий.
*(2) Общероссийский классификатор видов экономической деятельности.
*(3) Приказ Минтруда России, Минздрава России от 31 декабря 2020 г. N 988н/1420н "Об утверждении перечня вредных и (или) опасных производственных факторов и работ, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные медицинские осмотры при поступлении на работу и периодические медицинские осмотры" (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный N 62278); приказ Минздрава России от 28 января 2021 г. N 29н "Об утверждении Порядка проведения обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров работников, предусмотренных частью четвертой статьи 213 Трудового кодекса Российской Федерации, перечня медицинских противопоказаний к осуществлению работ с вредными и (или) опасными производственными факторами, а также работам, при выполнении которых проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские осмотры" (зарегистрирован Минюстом России 29 января 2021 г., регистрационный N 62277).
*(4) Постановление Минтруда России, Минобразования России от 13 января 2003 г. N 1/29 "Об утверждении Порядка обучения по охране труда и проверки знаний требований охраны труда работников организаций" (зарегистрировано Минюстом России 12 февраля 2003 г., регистрационный N 4209), с изменениями, внесенными приказом Минтруда России, Минобрнауки России от 30 ноября 2016 г. N 697н/1490 (зарегистрирован Минюстом России 16 декабря 2016 г., регистрационный N 44767).
*(5) Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих.
*(6) Общероссийский классификатор профессий рабочих, должностей служащих и тарифных разрядов ОК 016-94.
*(7) Общероссийский классификатор специальностей по образованию.
(1).jpg)
